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表面处理是一种在基材表面人工形成一层与基材具有不同机械、物理和化学性能的表面层的工艺方法。表面处理的目的是满足产品的耐腐蚀性、耐磨性、装饰性或其他特殊功能要求。对于金属铸件，我们常用的表面处理方法有机械抛光、化学处理、表面热处理、喷涂等。表面处理还包括清洁工件表面，例如清洗、去毛刺、除油、除氧化物等。
产品描述
制备DLC薄膜的常用方法包括真空蒸发、溅射、等离子体辅助化学气相沉积和离子注入等。
在这些方法中，传统的真空蒸发镀膜法沉积速率高，薄膜纯度高，但由于基底中原子或分子的热蒸发能量很低（约0-2 eV），其表面迁移率很低，导致薄膜与基底的结合强度差，且沉积的原子容易飞散造成阴影效应，使得真空蒸发镀膜技术的应用受到很大限制。离子注入法可以显著改变材料的摩擦系数、耐磨性和耐腐蚀性，且注入层与基体材料之间没有明显的界面，因此与基体结合牢固，表面不会出现粘附断裂或剥落。然而，离子注入的注入层太薄，只有几百纳米，这限制了其在耐磨条件下的应用。
为了克服真空蒸发沉积法附着力差和离子注入法注入层浅的问题，研究人员将薄膜蒸发沉积和离子注入技术相结合，开发了真空蒸发离子束辅助沉积技术[5, 6]。该技术利用蒸发源（电子束）在基底上沉积元素的同时，用离子束轰击涂层，从而获得比离子注入层更厚、附着力更好的高性能致密薄膜层。因此，该方法有利于提高薄膜的摩擦学性能。本文采用真空蒸发离子束辅助沉积法测试了类金刚石碳（DLC）薄膜的摩擦学性能，并研究了DLC薄膜表面形貌对其摩擦学行为的影响。
采用真空蒸发离子束辅助镀膜技术，在弹簧钢和Ti6Al4V球表面形成了光滑致密的类金刚石碳（DLC）薄膜。摩擦学测试结果表明，DLC薄膜降低了基体材料的摩擦系数，提高了摩擦学性能。扫描电镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）分析表明，DLC薄膜的表面磨损程度低于轴承钢，磨损痕迹轻微，说明经真空蒸发离子束辅助镀膜技术处理后，弹簧钢基体的摩擦学性能得到了显著改善。AFM分析还表明，DLC薄膜镀覆在Ti6Al4V球表面后，磨损痕迹的表面比磨损前更加光滑，表面粗糙度更低，在摩擦过程中其摩擦学性能得到了进一步提升。
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